Gịnị mere sistemụ nnyefe gas UHP ji dị oke mkpa?
N'imepụta semiconductor - usoro dịka etching, CVD, ion implantation, na lithography - gas nhazi ga-adị oke ọcha, nke na-abụkarị 99.9999% (6N) ma ọ bụ ọbụna 99.99999% (7N). Ọbụna ihe ndị na-emerụ ahụ na ọkwa ppb (akụkụ kwa ijeri) ma ọ bụ ppt (akụkụ kwa trillion) - dị ka mmiri ma ọ bụ oxygen - nwere ike ibute ntụpọ dị egwu dịka oxide thinning, metal voids, ma ọ bụ obere sekit na wafers, nke nwere ike ịkagbu oghere dum.
Ya mere, ọrụ nke sistemụ nnyefe gas UHP bụ ibuga gas site na isi iyi gaa na ngwaọrụ usoro ahụ na-enweghị mmebi ọ bụla na ịdị ọcha, na-egbochi ma mmetọ ma mmiri na-agbapụta n'ebe ọ bụla.
Gịnị mere EP Tube ji bụrụ ihe ndabere nke UHP Systems?
A na-eji ígwè anaghị agba nchara eme ọkpọkọ EP (Electropolished) nke na-eme usoro nchacha electrochemical, na-emepụta elu dị n'ime dị ka enyo. Nke a na-eme ka ọ bụrụ "ogwe akwara" dị mkpa maka nkesa gas UHP.
Ịdị Ọcha Kachasị Elu - Mgbochi na Isi Iyi
Nhazi EP na-ebelata oke iru mmiri dị n'ime (Ra) ruo 0.13 µm – 0.25 µm ma ọ bụ ọbụna dị ala. Mmecha a dị nro nke ukwuu na-ewepụ obere oghere na ebe a na-amịkọrọ mmiri, na-ahapụghị ohere maka ihe ndị dị n'ime ya, ion ígwè, ma ọ bụ mmiri iji rapara.
Mmezi Nrụgide Nrụgide - Nchekwa Ịdị Ọcha
Usoro electropolishing ahụ na-ewepụ ihe ndị na-adịghị ọcha n'elu ala ma na-emepụta oyi akwa chrome-oxide bara ụba, na-eme ka iguzogide gas ndị na-emebi emebi dị ka Cl₂, CF₄, na HCl dịkwuo mma nke ukwuu. Nke a na-egbochi nchara mgbidi paịpụ nke nwere ike ịkpata obere ihe ma ọ bụ mmetọ gas.
Mmeziwanye Ọsọ Mmiri na Mwepụ Ngwa Ngwa
Mgbidi dị n'ime dị nro na-ebelata iguzogide mmiri ma na-eme ka nhicha sistemụ na mgbanwe gas dịkwuo ngwa ngwa. N'ime usoro ndị chọrọ mgbanwe gas ngwa ngwa, nke a na-eme ka oge okirikiri dị mkpụmkpụ ma na-eme ka mmepụta ya dịkwuo mma.
Ihe Dị Elu - Ọkọlọtọ "Okpueze"
A na-eji ígwè anaghị agba nchara nke 316L VIM‑VAR (Vacuum Induction Melting + Vacuum Arc Remelting) arụ ọkpọkọ EP dị elu. Usoro ịgbaze okpukpu abụọ a na-eme ka ígwè dị ọcha nke ukwuu, nke bụ ihe dị mkpa maka iru arụmọrụ kachasị elu nke EP.
Ọnọdụ Ngwa Dị Mkpa
•
Usoro Isi- Nnyefe gas ndị na-eme ka ihe dị ọcha dị ọcha maka ịkpụcha, CVD, itinye ion, na lithography.
•
Gas Pụrụ Iche– Ijikwa gas ndị na-ere ọkụ, ndị na-egbu egbu, ma ọ bụ ndị na-emebi emebi dịka SiH₄, PH₃, Cl₂, na BCl₃ n'enweghị nsogbu. Maka gas ndị dị oke ize ndụ, a na-ejikarị EP tubing nke nwere ihe mkpuchi abụọ (tube dị n'ime maka gas, a na-ewepụ jaket mpụta ma ọ bụ jiri nitrogen sachaa ya maka nlekota mmiri).
•
Akụrụngwa dị Mkpa- A na-eji ya na panel nkesa gas (VMBs), kabọd gas, na njikọ ngwaọrụ nhazi ebe a na-achọ ime ụlọ dị ọcha nke ukwuu.
Karịa Tubing: Ihe Ndị Ọzọ Dị Mkpa Maka Sistemụ UHP Zuru Ezu
Iji hụ na iguzosi ike n'ezi ihe zuru oke, usoro ahụ aghaghị ịgụnye:
•
Ịgbado Orbital nke Akpaka zuru oke– Emere m na ISO Klas 5 (Klas 100) ma ọ bụ ụlọ nhicha ka mma, na-ewepụ mgbanwe n'ịkwado ọkụ aka na ihe egwu mmetọ.
•
Ihe Njikere Ihu Metal Nile– Dịka ụdị VCR® ma ọ bụ W‑Seal, nke na-adabere na gaskets ígwè maka arụmọrụ efu.
•
Nhicha na Nkwakọba siri ike– A na-eji mmiri dị ọcha nke ukwuu ehicha ọkpọkọ EP, kpọọ nkụ, ma jiri nitrogen sachaa ha tupu e tinye ha n'ime akpa abụọ n'ime ngwugwu ụlọ dị ọcha iji chekwaa ịdị ọcha ha "dịka e zigara" ruo mgbe e tinyere ha.
Ọkpọkọ EP abụghị naanị paịpụ—ọ bụ ụzọ mbụ e si echebe onwe ya na nnyefe gas semiconductor. Elu ya dị nro nke ukwuu, iguzogide nchara dị elu, na ịdị ọcha nke ihe dị elu na-emetụta mmepụta wafer, ntụkwasị obi ngwaọrụ, na uru zuru oke. N'ụwa nke obere nm nodes na mmefu ego na-esikwu ike, ọkpọkọ EP abụghị nhọrọ—ọ bụ ihe ndabere.
Oge ozi: Ọgọst-05-2026