Ihe dị mkpa nke ọkpọkọ gas na-adị ọcha na semiconductor

As semiconductorna teknụzụ microelectronic na-etolite n'ebe arụmọrụ dị elu na njikọta dị elu, a na-etinye ihe ndị dị elu chọrọ na ịdị ọcha nke gas pụrụ iche nke eletrọnịkị. Teknụzụ ọkpọkọ gas dị oke ọcha bụ akụkụ dị mkpa nke sistemu ikuku dị ọcha. Ọ bụ teknụzụ bụ isi maka ịnyefe gas dị ọcha nke na-emezu ihe achọrọ maka isi ihe eji gas na-eme ka ọ dị mma.

Teknụzụ ọkpọkọ dị elu dị ọcha gụnyere nhazi ziri ezi nke usoro ahụ, nhọrọ nke ọkpọkọ ọkpọkọ na ihe inyeaka, ihe owuwu na ntinye na nnwale.

01Izugbe echiche nke gas nnyefe ọkpọkọ

Ọ dị mkpa ka ebufe ikuku niile dị ọcha na ịdị ọcha dị elu na njedebe gas site na pipeline. Iji mezuo usoro ihe dị mma chọrọ maka gas, mgbe ntinye akwụkwọ mbupụ gas doro anya, ọ dị mkpa ka ị ṅaa ntị na nhọrọ ihe na ihe owuwu nke usoro ọkpọkọ. Na mgbakwunye na izi ezi nke mmepụta gas ma ọ bụ ihe eji eme ihe dị ọcha, ọ na-emetụta ọtụtụ ihe nke usoro pipeline. Ya mere, nhọrọ nke ọkpọkọ kwesịrị irube isi na ụkpụrụ ụlọ ọrụ nchacha dị mkpa na akara ihe nke ọkpọkọ na eserese.

02 Ihe dị mkpa nke pipeline dị ọcha dị na njem gas

Ihe dị mkpa nke pipeline dị ọcha dị na njem gas na-adị ọcha n'oge usoro mgbaze igwe anaghị agba nchara, ton ọ bụla nwere ike ịmịkọrọ ihe dịka 200g gas. Mgbe emechara igwe anaghị agba nchara, ọ bụghị naanị na ihe ndị dị iche iche na-emerụ emerụ na-arapara n'elu ya, kamakwa ụfọdụ gas na-abanye n'ime eriri ígwè ya. Mgbe enwere ikuku na-agafe na pipeline, akụkụ nke gas na-etinye na ígwè ga-abanyeghachi na ikuku ikuku ma mebie gas dị ọcha.

Mgbe ikuku ikuku na ọkpọkọ kwụsịrị, ọkpọkọ ahụ na-etolite mgbasa ozi nrụgide na gas na-agafe. Mgbe ikuku na-akwụsị ịgafe, gas adsorbed site na ọkpọkọ na-emepụta nyocha mbelata nrụgide, na gas nyochara na-abanyekwa na gas dị ọcha na ọkpọkọ dị ka adịghị ọcha.

N'otu oge ahụ, usoro mgbasa ozi na nyocha nyocha ga-eme ka ígwè dị n'ime ime nke ọkpọkọ na-emepụta ụfọdụ ntụ ntụ. Uzuzu uzuzu ọla a na-emerụkwa ikuku dị ọcha dị na ọkpọkọ. Njirimara a nke ọkpọkọ dị ezigbo mkpa. Iji hụ na ịdị ọcha nke gas a na-ebugharị, ọ bụghị naanị na a chọrọ na elu dị n'ime nke ọkpọkọ ahụ nwere ezigbo nro dị oke elu, kamakwa na ọ kwesịrị inwe nnukwu ihe mgbochi.

Mgbe gas nwere ihe ndị na-emebi emebi siri ike, a ga-eji ọkpọkọ igwe anaghị agba nchara na-eguzogide corrosion maka ọkpọkọ. Ma ọ bụghị ya, ntụpọ corrosion ga-apụta n'ime ime ọkpọkọ n'ihi mmebi. N'ọnọdụ ndị siri ike, nnukwu iberibe ígwè ga-apụpụ ma ọ bụ ọbụna gbarie, si otú ahụ na-emerụ ikuku dị ọcha a na-ebufe.

03 Ihe ọkpọkọ

Nhọrọ ihe nke ọkpọkọ kwesịrị ịhọrọ dịka mkpa eji eme ihe. A na-atụkarị àgwà nke ọkpọkọ dịka ịdị njọ nke elu dị n'ime nke ọkpọ ahụ. Na ala nke roughness, obere o yikarịrị ka ọ na-ebu irighiri ihe. A na-ekekarị ya na ụdị atọ:

Otu bụEP ọkwa 316L ọkpọkọ, nke a na-ehicha ọkụ eletrik (Electro-Polish). Ọ na-eguzogide corrosion ma nwee ala dị ala. Rmax (kachasị elu ruo n'ịdị elu ndagwurugwu) bụ ihe dịka 0.3μm ma ọ bụ ihe na-erughị ya. Ọ nwere flatness kacha elu na ọ dịghị mfe ịmepụta micro-eddy iyi. Wepu ụmụ irighiri ihe emeru. Gas mmeghachi omume eji mee ihe na usoro kwesịrị ịbụ ọkpọkọ na ọkwa a.

Otu bụ aBA ọkwa 316Lọkpọkọ, nke Bright Anneal na-agwọta ma na-ejikarị ya eme ihe maka gas ndị na-ejikọta na mgbawa mana anaghị etinye aka na mmeghachi omume usoro, dị ka GN2 na CDA. Otu bụ ọkpọkọ AP (Annealing & Picking), bụ nke a na-adịghị agwọ ya nke ọma, a na-ejikarị ya eme ya maka ọkpọkọ mpụta abụọ nke a na-ejighị dị ka ahịrị ọkọnọ gas.

04 Owuwu pipeline

Nhazi nke ọnụ ọkpọkọ bụ otu n'ime isi ihe nke teknụzụ ihe owuwu a. A na-eme ịkpụ pipeline na prefabrication na ebe dị ọcha, ma n'otu oge ahụ, a na-achọpụta na ọ dịghị akara ma ọ bụ mmebi n'elu pipeline tupu ịcha ya. A ghaghị ime nkwadebe maka ịgbanye nitrogen na pipeline tupu imepe pipeline. Na ụkpụrụ, a na-eji ịgbado ọkụ na-ejikọta ikuku gas na-ebufe ikuku dị ọcha na nke dị elu na nkesa nkesa na nnukwu mmiri, ma a naghị ekwe ka ịgbado ọkụ ozugbo. Ekwesịrị iji nkwonkwo mkpuchi mee ihe, na ihe ọkpọkọ eji eme ihe na-achọ ka ọ ghara inwe mgbanwe ọ bụla na nhazi n'oge ịgbado ọkụ. Ọ bụrụ na a na-agbanye ihe ndị nwere oke carbon dị elu, ikuku ikuku nke akụkụ ịgbado ọkụ ga-eme ka gas dị n'ime na n'èzí ọkpọkọ banye n'ime ibe ya, na-ebibi ịdị ọcha, nkụ na ịdị ọcha nke gas na-ebufe, nke ga-eduga ná nnukwu nsonaazụ. ma na-emetụta àgwà mmepụta.

Na nchịkọta, maka ikuku dị ọcha dị ọcha na ọkpọkọ nnyefe gas pụrụ iche, a ga-eji ọkpọkọ igwe anaghị agba nchara nke a na-edozi nke ọma, nke na-eme ka usoro pipeline dị elu (gụnyere pipeline, ọkpọkọ ọkpọkọ, valves, VMB, VMP) na-eji. ọrụ dị mkpa na nkesa gas dị ọcha.