Mkpa nke ọkpọkọ gas dị ọcha dị elu nye semiconductors

As semiconductorna teknụzụ microelectronic na-etolite iji nweta arụmọrụ ka mma na njikọta ka mma, a na-etinye ihe achọrọ dị elu na ịdị ọcha nke gas pụrụ iche eletrọniki. Teknụzụ ọkpọkọ gas dị elu bụ akụkụ dị mkpa nke sistemụ ọkọnọ gas dị elu. Ọ bụ teknụzụ bụ isi maka ịnye gas dị elu nke na-emezu ihe achọrọ na ebe ojiji gas ma ka na-ejigide ịdị mma ruru eru.

Teknụzụ ọkpọkọ dị ọcha nke ukwuu gụnyere nhazi ziri ezi nke sistemụ ahụ, nhọrọ nke ihe mgbakwunye ọkpọkọ na ihe enyemaka, owuwu na ntinye na nnwale.

01 Echiche izugbe nke ọkpọkọ nnyefe gas

A ga-ebuga gas niile dị ọcha ma dị ọcha nke ukwuu gaa ebe gas dị n'akụkụ site na paịpụ. Iji mezuo ihe achọrọ maka ogo usoro maka gas, mgbe ihe ngosi mbupụ gas doro anya, ọ dị mkpa karị ịṅa ntị na nhọrọ ihe na ịdị mma owuwu nke sistemụ paịpụ. Na mgbakwunye na izi ezi nke akụrụngwa mmepụta gas ma ọ bụ nhicha, ọtụtụ ihe dị na sistemụ paịpụ na-emetụta ya nke ukwuu. Ya mere, nhọrọ nke paịpụ kwesịrị ịgbaso ụkpụrụ ụlọ ọrụ nhicha dị mkpa ma kaa akara ihe dị na paịpụ na eserese.

02 Mkpa nke ọkpọkọ dị ọcha dị elu na njem gas

Mkpa nke paịpụ ndị dị ọcha n'ime njem gas dị ọcha n'oge usoro ịgbaze ígwè anaghị agba nchara, tọn ọ bụla nwere ike ịmịkọrọ ihe dị ka gram 200 nke gas. Mgbe emechara ígwè anaghị agba nchara, ọ bụghị naanị na ihe ndị na-emerụ emerụ dị iche iche na-arapara n'elu ya, kamakwa a na-etinye ụfọdụ gas n'ime eriri ígwè ya. Mgbe ikuku na-agafe na paịpụ ahụ, akụkụ nke gas nke ígwè ahụ na-amịkọrọ ga-abanyeghachi na ikuku ma metọọ gas dị ọcha ahụ.

Mgbe ikuku dị na paịpụ ahụ kwụsịrị, paịpụ ahụ na-emepụta mmịpụta nrụgide na gas na-agafe. Mgbe ikuku na-akwụsị ịgafe, gas nke paịpụ ahụ na-emepụta nyocha mbelata nrụgide, gas a nyochakwara na-abanyekwa na gas dị ọcha dị na paịpụ ahụ dị ka ihe na-adịghị ọcha.

N'otu oge ahụ, usoro nnabata na nyocha ga-eme ka ígwè dị n'elu paịpụ ahụ mepụta ntụ ntụ ụfọdụ. Ihe ntụ ntụ ígwè a na-emerụkwa gas dị ọcha dị na paịpụ ahụ. Àgwà a nke paịpụ ahụ dị oke mkpa. Iji hụ na gas e bufere dị ọcha, ọ bụghị naanị na ọ dị mkpa ka elu dị n'ime paịpụ ahụ nwee ịdị nro dị elu, kamakwa na ọ kwesịrị inwe oke iguzogide iyi.

Mgbe gas ahụ nwere ike imebi ihe siri ike, a ga-eji paịpụ ígwè anaghị agba nchara na-eguzogide nchara mee paịpụ. Ma ọ bụghị ya, ntụpọ nchara ga-apụta n'elu paịpụ ahụ n'ihi nchara. N'ọnọdụ ndị siri ike, nnukwu iberibe ígwè ga-agbawa ma ọ bụ ọbụna gbawaa, si otú a na-emerụ gas dị ọcha a na-ebuga.

03 Ihe e ji arụ ọrụ paịpụ

A ga-ahọrọ ihe e ji ahọrọ paịpụ ahụ dịka mkpa ọ dị iji ya si dị. A na-atụkarị ịdị mma nke paịpụ ahụ dabere na ịdị nro nke elu ime paịpụ ahụ. Ka ọ na-adị obere, otú ahụ ka ọ na-agaghị enwe ike ibu ihe ndị dị na ya. A na-ekewa ya n'ụdị atọ:

Otu bụPaịpụ EP ọkwa 316L, nke e ji eletrọniki mee ka ọ dị ọcha (Electro-Polish). Ọ na-eguzogide ire ere ma nwee obere iru ure elu. Rmax (elu kachasị elu ruo elu ndagwurugwu) dị ihe dị ka 0.3μm ma ọ bụ ihe na-erughị ya. O nwere larịị kachasị elu ma ọ dịghị mfe ịmepụta obere mmiri ọkụ. Wepụ ihe ndị ruru unyi. Gas mmeghachi omume ejiri mee ihe n'usoro a kwesịrị ịdị na paịpụ n'ọkwa a.

Otu bụỌkwa BA 316Lpaịpụ, nke Bright Anneal gwọọla ma na-ejikarị ya eme ihe maka gas ndị metụtara chip mana ha anaghị esonye na mmeghachi omume usoro ahụ, dịka GN2 na CDA. Otu bụ paịpụ AP (Annealing & Picking), nke a naghị agwọ ya nke ọma ma a na-ejikarị ya eme ihe maka paịpụ abụọ dị n'èzí nke a na-ejighị dị ka eriri ọkọnọ gas.

04 Ịrụ ọrụ paịpụ

Nhazi nke ọnụ paịpụ bụ otu n'ime isi ihe dị mkpa na teknụzụ owuwu a. A na-eme ịkpụ na imezi paịpụ ahụ n'ebe dị ọcha, n'otu oge ahụ, a na-ahụ na ọ dịghị akara ma ọ bụ mmebi na-emerụ ahụ n'elu paịpụ ahụ tupu e bepụ ya. A ga-eme nkwadebe maka ịmịcha nitrogen na paịpụ ahụ tupu e mepee paịpụ ahụ. N'ụkpụrụ, a na-eji ịgbado ọkụ iji jikọọ paịpụ gas na nkesa dị ọcha na nke dị elu na nnukwu mmiri, mana anaghị ekwe ka ịgbado ọkụ ozugbo. A ga-eji njikọ mkpuchi, a ga-achọkwa ka ihe paịpụ ejiri mee ihe ghara inwe mgbanwe na nhazi n'oge ịgbado ọkụ. Ọ bụrụ na ejiri ihe nwere oke carbon agbakọta, ikuku ikuku nke akụkụ ịgbado ọkụ ahụ ga-eme ka gas dị n'ime na n'èzí paịpụ ahụ banye n'ime ibe ha, na-emebi ịdị ọcha, nkụ na ịdị ọcha nke gas na-ebuga, nke ga-ebute nnukwu ihe ga-esi na ya pụta ma metụta ịdị mma mmepụta.

Na nchịkọta, maka ọkpọkọ gas dị ọcha na ọkpọkọ nnyefe gas pụrụ iche, a ga-eji ọkpọkọ ígwè anaghị agba nchara nke a na-agwọ nke ọma, nke na-eme ka sistemụ ọkpọkọ dị ọcha (gụnyere ọkpọkọ, ihe ndị e ji etinye paịpụ, valvụ, VMB, VMP) rụọ ọrụ dị mkpa na nkesa gas dị ọcha.