Mmiri na Nkwụsị nke Ngwakọta: Otu Mmecha Elu Si Emetụta Ịdị Ọcha nke Gas

N'ime sistemụ gas dị ọcha nke oge a, ọdịiche dị n'etiti usoro uru na ọdịda dị oke ọnụ na-adaberekarị n'ihe ị na-apụghị ịhụ. Mmiri na ihe ndị dị n'ime - nke a tụrụ n'akụkụ kwa ijeri ma ọ bụ ọbụna akụkụ kwa trillion - nwere ike imerụ iyi gas nwayọ, mebie ịdị mma ngwaahịa, ma mechie ahịrị mmepụta semiconductor. Ọ bụ ezie na nzacha, nhicha, na akụrụngwa njikwa mmiri na-enweta ọtụtụ nlebara anya, otu n'ime mmetụta kachasị mkpa na ịdị ọcha gas bụ elu nke ọkpọkọ na-ebu gas. Otu esi emechaa elu ahụ na-ekpebi oke mmiri ọ nwere ike ịdọrọ, ole ihe ndị ọ nwere ike ijide, na ole ọ ga-apụ na gas n'oge ndụ nke sistemụ ahụ. Nduzi a na-akọwa usoro nke mmiri na ihe ndị na-apụ na gas, na-atụle mmetụta nke imecha elu na ịdị ọcha gas, ma na-akọwapụta atụmatụ mmecha na ọrụ eji eme ihe iji nye arụmọrụ dị ọcha dị elu (UHP).

Gịnị Bụ Ịpụpụ na Mmiri na Gịnị Mere O Ji Dị Mkpa?

Mwepụ gas na mmiri nwayọ nwayọ nke na-apụta n'ime ihe ma ọ bụ na-abanye n'elu ihe ma ọ bụ na-agbaze n'ime akwa dị nso ya. Mwepụ ahụ na-amalite mgbe nrụgide gbara ya gburugburu dara, okpomọkụ rịrị elu, ma ọ bụ gas nhichapụ gafere n'elu - kpọmkwem ọnọdụ dị na sistemụ nnyefe gas, ụlọ ikuku, na ngwa nyocha. Na sistemụ ígwè anaghị agba nchara, uzuoku mmiri bụ ihe na-emerụ emerụ kachasị, nke na-esochi ya bụ hydrocarbons na ihe fọdụrụ na usoro.

Ọbụnadị n'ọtụtụ ihe ndị yiri ka ọ dị ntakịrị, mmiri nwere ike imeghachi omume na gas pụrụ iche, ihe ndị dị na nucleate, na-eme ka ọgụgụ nyocha ghara ịdị irè, na ihe ndị nwere mmetụta nsí dị ka ndị na-achịkwa oke mmiri, valvụ, na ụlọ nchekwa. Ka geometrị ngwaọrụ na-ebelata ma na-ahazi windo na-esikwu ike, ụlọ ọrụ semiconductor akwalitela ihe achọrọ maka ịdị ọcha gas site na akụkụ kwa nde (ppm) gaa na akụkụ kwa ijeri (ppb) na akụkụ kwa trillion (ppt). Na ọkwa ndị a, njedebe elu nke tubing abụghịzi obere nkọwa - ọ bụ nkọwapụta mbụ nke a ga-ahazi, nyochaa, ma lekọta site na igwe ihe ọkụkụ ruo na ngwaọrụ ahụ.

Usoro Ndị Dị Mkpa

Ebe Elu Dị Adị Elu Karịrị

Elu dị nro nwere nnukwu mpaghara dị obere karịa nke dị nro, ebe sara mbara pụtara ọtụtụ ebe mmiri nwere ike ijikọ. Mmekọrịta ahụ abụghị nke kwụ ọtọ: oke dị nro n'ụdị elu, ndagwurugwu, na usoro ókèala ọka na-amụba oke elu dị irè maka nnabata. Mbelata oke dị nro n'elu - nke a tụrụ dị ka Ra, nkezi nkezi nke profaịlụ elu - site na 0.8 µm ruo 0.25 µm nwere ike iwepụ nnukwu òkè nke ebe nnabata, n'ihi na a na-ewepụ oghere ndị kacha omimi, nke na-ejide mmiri nke ukwuu, kpamkpam. Ọ bụ ya mere a na-akọwakarị imecha elu dị ka ebe nchekwa mmiri zoro ezo nke na-ekpebi ogologo oge a ga-asacha sistemụ tupu ọ ruo ịdị ọcha nke ntọala.

Mmiri na-amịkọrọ mmiri na ikuku na-apụ n'anya

Mmiri na-etolite njikọ kwụsiri ike na elu ígwè, ọkachasị na oyi akwa oxide nke na-etolite n'onwe ya na ígwè anaghị agba nchara. N'elu passive, nke jupụtara na chromium, molekul mmiri na-ebu ụzọ chemisorb ozugbo na oxide, wee gbakọta dị ka oyi akwa physisorbed na-esochi. Mgbe tube ahụ mechara kpughee na vacuum ma ọ bụ gas na-asọ asọ, oyi akwa ndị a na-agbaze nwayọọ nwayọọ: oyi akwa mpụta nke ejikọtara na-apụta na mbụ, ebe mmiri chemisorbed na-adịgide ma chọọ ike, nke na-abụkarị n'ụdị okpomọkụ, ka a tọhapụ ya. Ihe ga-esi na ya pụta bụ na tube arụnyere ọhụrụ ma ọ bụ nke emechara nke ọma ga-agbapụta mmiri mmiri n'ime iyi gas ruo ọtụtụ awa ma ọ bụ ọbụna ụbọchị, na-agbatị oge nhicha ma na-edebe ịdị ọcha n'okpuru nkọwapụta.

Ntinye nke ihe ndị dị n'ime obere akụkụ

Oghere dị n'ime obere oghere, olulu, na laps n'elu ihe ndị siri ike na-arụ ọrụ dị ka ebe nchekwa maka ihe ndị ahụ. N'oge ọrụ nkịtị, ihe ndị a nwere ike ịnọgide na-ejide onwe ha, mana okirikiri okpomọkụ, ịma jijiji, ma ọ bụ mgbanwe mberede na ntụziaka na ọsọ mmiri nwere ike iwepụ ha, na-eziga mgbawa nke mmetọ n'ime iyi gas. N'imepụta semiconductor, otu ihe nwere ike ịmepụta ntụpọ dị egwu na wafer, ihe ndị na-adaba n'ụkwụ nwụrụ anwụ ma ọ bụ oghere valvụ na-esikwa ike iwepụ ozugbo sistemụ ahụ malitere ọrụ. Ebe dị nro, nke na-enweghị mgbawa abụghị naanị na ọ na-ebelata ọnụọgụ nke ihe ndị a na-emepụta, ha na-emekwa ka elu ndị ka dị mfe ihicha na ịlele.

Mmetụta dị na Ịdị Ọcha Gas

Nhọrọ nke imecha elu nwere mmetụta kpọmkwem, nke a pụrụ ịtụle na ịdị ọcha gas, oge nhicha, na nkwụsi ike ogologo oge. Elu ndị siri ike na oke Ra 0.5–0.8 µm - nke a na-ahụkarị na tube oyi na-adọpụta nke a na-anaghị emecha - na-ejigide mmiri na irighiri ihe karịa. Ha na-apụ n'anya nke ukwuu, na-achọ oge nhicha ogologo, ma na-adabara naanị maka ngwa ọkwa ppm ebe a na-anabata mmetọ mgbe ụfọdụ. Elu ndị dị nro na oke Ra ≤ 0.25 µm, nke a na-emepụtakarị site na electropolishing (EP), na-akpa àgwà dị iche iche: ha na-enye obere ebe a na-etinye ihe, obere gas na-apụ apụ, na obere mmepụta ihe dị iche iche. A tụọla mmetụta ahụ na nnyocha ebipụtara; otu nnyocha na titanium gosiri na mbelata 35% na oke iru mmiri na-emepụta mbelata 30% na mmiri a na-anaghị ewepụ, a na-edekwa usoro ndị yiri ya maka ígwè anaghị agba nchara. Maka sistemụ ọcha dị elu nke ppb na ppt, elu ndị a na-egbutu abụghị okomoko - ha bụ ihe achọrọ.

Otu Mmecha Elu Si Emetụta Arụmọrụ Sistemụ

Mmecha elu na-emetụta ihe karịrị ịpụ apụ. Ọ na-emetụta oge nhicha (elu ndị dị nro na-eru mmiri dị n'okpuru ngwa ngwa), mwụfu ihe ndị dị n'okpuru mmiri, iguzogide nchara (elu EP ndị a na-eme ka ọ dị nro, nke nwere chromium na-eguzogide mmetọ), na ịdị ọcha (elu ndị dị nro na-ewepụta ihe nhicha ma sachaa mmiri kpamkpam). Ọ na-emetụtakwa ike ịgbado ọkụ: mmecha elu dị ọcha, nke a na-achịkwa na-emepụta àgwà ịgbado ọkụ gburugburu na-agbanwe agbanwe, na-ebelata ihe egwu nke itinye na agba okpomọkụ nke nwere ike ịghọ isi iyi mmetọ n'ọdịnihu.

Atụmatụ Mbelata

Imezu na ịnọgide na-adị ọcha gas dị elu chọrọ njikọta nke ụzọ dị iche iche, nke ọ bụla na-edozi ụzọ dị iche iche nke mmetọ.

Ọgwụgwọ Elu

Elektropolishing (EP) bụ ọkọlọtọ ọla edo maka sistemụ UHP. Usoro a na-ewepụ obere oyi akwa ígwè a na-achịkwa n'elu, na-eme ka obere elu dị larịị, na-emepe ma na-ewepụ oghere dị iche iche, ma na-eme ka ọdịnaya chromium nke ihe nkiri ahụ dịkwuo mma - nke na-eme ka elu ahụ sie ike iguzogide nchara ma ghara igbochi mmiri. Mgbe ị na-akọwapụta ụgbọ okporo ígwè gas UHP, họrọtube a na-egbutu nke ọma nke nwere ebe a na-etinye ihe na-adịghị emerụ ahụmaka ihe ndị e ji mmiri mee na ihe ndị e ji dakọtara ọnụ ruo n'otu njedebe; ngwakọta ihe ndị e ji eme ihe n'ime otu sistemụ na-emebi ịdị ọcha nke ihe niile e ji eme ihe. Maka ojiji ndị na-adịghị achọ ihe, acid pickling and passivation (AP) na bright annealing (BA) na-enye ezigbo nguzozi nke ịdị ọcha na ọnụ ahịa.

Nhicha na Ijikwa

N'agbanyeghị imecha elu ya, ọ gaghị ezu oke — nhicha siri ike na-ewepụ ihe fọdụrụ n'ime mmepụta, mmanụ, na mmiri ndị fọdụrụ site na usoro nhazi mbụ. Usoro ndị a na-ejikarị eme ka mmanụ alkaline dị ọcha, nhicha ultrasonic, na ịsacha mmiri deionized, wee kpọọ nkụ n'ebe dị ọcha na nkwakọ ngwaahịa n'ime nchekwa mkpuchi nke nwere akpa abụọ. Nhazi nlekọta dị mkpa otu a: uwe aka, ngwaọrụ dị ọcha, na nchekwa ekpuchiri egbochi mmetọ n'etiti igwe ihe na nrụnye ikpeazụ.

Achịcha

Ime ka ihe ndị na-ekpo ọkụ n'okpuru ikuku ma ọ bụ gas nhicha na-asọ asọ na-eme ka mmịpụta nke uzuoku mmiri dịkwuo ngwa ngwa, na-ewepụ mmiri mmiri nke ga-esi na gas banye n'ime usoro ahụ n'oge ọrụ. Ime achịcha dị oke mkpa maka valvụ, ihe ndị e ji etinye ihe, na njikọ welded, ebe geometry na mpaghara ndị metụtara okpomọkụ na-emepụta ebe nchekwa mmiri zoro ezo. Ejikọtara ya na nhicha na-adịghị arụ ọrụ, ime achịcha nwere ike ibelata oge sistemụ ọhụrụ chọrọ iji ruo ọcha ntọala site na ụbọchị ruo awa.

Nchacha

Ịgbasa gas na-adịghị arụ ọrụ, nke na-abụkarị nitrogen ma ọ bụ argon, site na sistemụ ahụ na-ebupụ ihe ndị na-emerụ emerụ na gas ma na-egbochi mmiri ịbanye ọzọ. Ịsachapụ bụ ma usoro ọrụ ma na-aga n'ihu: sistemụ ndị e mere nke ọma na-ejigide nhicha dị ala na-aga n'ihu na ngalaba nchekwa ma jiri gas nhicha dị elu ka nhicha ahụ n'onwe ya ghara ịghọ isi iyi mmetọ.

Nhọrọ Ihe

Iji ihe ndị na-anaghị ewepụta gas na-ebelata ihe ndị na-emerụ ahụ n'ime tupu ha adị. Maka ọrụ UHP, ígwè anaghị agba nchara 316L nke VIM-VAR mepụtara (mgbaze induction induction na-esochi mgbaze vacuum arc) bụ ọkọlọtọ ụlọ ọrụ: agbaze vacuum okpukpu abụọ na-ebelata ihe ndị na-abụghị ọla ma na-emepụta obere ihe owuwu dị arọ, nke dị mfe imecha nke ọma ma ghara ịdị mfe ịgbaze gas. Ihe dị ala nwere ihe ndị na-etinye nwere ike imeri ọbụna ihe kachasị mma n'elu, n'ihi na ihe ndị na-etinye na-arụ ọrụ dị ka ebe mmalite maka ịkụnye na imepụta ihe ndị na-adịghị mma.

Ịhọrọ Mmecha Elu Kwesịrị Ekwesị Maka Ngwa Gị

Ụlọ ọrụ na usoro dị iche iche nwere ihe dị iche iche achọrọ maka ịdị ọcha, imecha ya nke ọma na-eme ka ịdị ọcha dị mma megide ọnụ ahịa na nnweta. Maka ngwa ebe ịdị ọcha ọkwa ppb zuru oke - dịka ọmụmaatụ, usoro nhazi dị elu na ụlọ ọrụ ọgwụ - atube annealed na-egbuke egbuke (BA) enweghị ntụpọna-enye nguzozi dị mma nke ịdị mma elu, njikwa nha, na ọnụ ahịa. Maka ọrụ kachasị mkpa, a na-akọwapụta ihe ndị e ji elektrọnik mee nke ọma n'enweghị nkwekọrịta.

• Mmepụta Semiconductor na flat-panel: Mmecha EP, Ra ≤ 0.25 µm, 316L VIM-VAR, nke nwere akpa abụọ ma nwee asambodo ogbe. A na-akọwa mmefu ego maka ịpụ na gas na ihe ndị dị na ya na ppb-ppt ma na-eme ka ha dị irè site na nkọwapụta elu na ọnụọgụ nke ihe ndị dị na ya.
• Gas pụrụ iche na nke eletrọniki: EP ma ọ bụ ọkpọkọ BA dị elu nwere imecha dị n'ime nke a na-achịkwa; kabọd gas na panel nkesa chọrọ ịdị mma na-adịgide adịgide site na akụkụ ọ bụla.
• Ọgwụ na teknụzụ bayọlọji: Elu EP ma ọ bụ BA dị mfe ihicha ma kwado, na-emezu ntuziaka ASME BPE maka imecha elu ma na-akwado usoro CIP/SIP.
• Ngwa nyocha na chromatography gas:ọkpọkọ ngwaọrụnwere njedebe dị n'ime nke a na-achịkwa na nha nha ziri ezi, n'ihi na nkwụsi ike nke mgbaàmà dabere na gas na-ebu ihe na-emegharị emegharị, nke na-enweghị ihe ruru unyi.
• Usoro izugbe na ọkpọkọ ụlọ ọrụ mmepụta ihe: AP ma ọ bụ BA na-enye nhicha zuru oke maka ọrụ ọkwa ppm na ọnụ ala dị ala.

Ụkpụrụ na Nkọwapụta Ụlọ Ọrụ

Ịkọwapụta mmecha elu chọrọ asụsụ a na-asụkarị. Ra (mkpụrụedemede nkezi nke mgbakọ na mwepụ) bụ paramita a na-ejikarị eme ihe, mana ngwa ndị dị mkpa na-atụkwa aka na ọnụọgụgụ Rz, Rmax, na elu, yana ụkpụrụ nha elu dị ka SEMI F19. Maka ọkpọkọ ígwè anaghị agba nchara, ntụaka ndị a na-ejikarị eme ihe gụnyere ASTM A269 na A270 maka ọkpọkọ na-enweghị ntụpọ na nke dị ọcha, ASME BPE maka akụrụngwa bioprocessing, na ọkọlọtọ SEMI maka ngwa semiconductor. Mgbe nkọwapụta chọrọ ịdị mma EP, ọ kwesịrị ikwu uru Ra, usoro nha, na njirisi nnabata - dịka ọmụmaatụ, "Ra ≤ 0.25 µm, nke a tụrụ site na stylus profilometry na elu dị n'ime, 100% enyochala ma kwado."

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị

A: Kedu uru Ra a na-ewere dị ka ọkwa UHP?

A: Sistemụ ịdị ọcha dị oke elu na-akọwapụta Ra ≤ 0.25 µm, ọtụtụ ihe ndị na-emepụta semiconductor na-achọ Ra ≤ 0.13 µm n'elu ihe ndị e ji elektrọnik mee. Ihe a chọrọ kpọmkwem dabere na usoro na ọkwa ịdị ọcha a na-enye.

Q: Ọ na-ewepụ ihe ndị na-eme ka a na-eji ọkụ eletrik arụ ọrụ?

A: Electrophilshing na-ewepụ ihe e ji ígwè rụọ nke ọma, nke na-ewepụ obere oghere, oghere, na oghere ebe ihe ndị dị na mmiri na-ezo. Ọ naghị edochi nhicha: a ga-asacha akụkụ electrophil kwesịrị ekwesị, sachaa ya, ma kechie ya n'okpuru ọnọdụ ụlọ dị ọcha.

Q: Olee otú imecha elu si emetụta oge nhicha?

A: Ebe ndị siri ike na-ejide mmiri mmiri karịa ma na-ahapụ ya nwayọ nwayọ, yabụ iru ọcha nke ntọala na-ewe oge karịa. Ebe ndị a na-eme ka ọ dị nro nwere ike ibelata oge nhicha site na awa ma ọ bụ ọbụna ụbọchị, nke na-eme ka ọ bụrụ mmalite ngwa ngwa na obere oge nkwụsị.

Q: Ọ dị mma maka sistemu gas nke nwere annealed (BA) nke ọma?

A: Ọkpọkọ BA nwere Ra dị ihe dịka 0.25–0.4 µm dabara adaba maka ọtụtụ ngwa dị ọcha na ọgwụ. Maka ọrụ semiconductor ppb–ppt na ọrụ gas pụrụ iche, a na-achọkarị electropolishing.

Q: Kedu ihe kacha mma maka sistemụ gas dị ọcha nke ukwuu?

A: Ígwè anaghị agba nchara 316L nke VIM-VAR na-agbaze bụ nhọrọ a na-ahụkarị maka sistemụ gas UHP n'ihi na ọ dị obere ọdịnaya ya na obere nhazi ya na-agbanwe agbanwe, dị ọcha.

Mmechi

Mmecha elu abụghị ihe ịchọ mma nke ọkpọkọ ígwè anaghị agba nchara - ọ bụ nkọwapụta ọrụ nke na-achịkwa mmịpụta mmiri, njigide ihe, na mmịpụta gas n'oge ndụ sistemụ gas. Mmecha elu dị nro bụ ihe dị mkpa maka iru na ịnọgide na-enwe ọkwa kachasị elu nke ịdị ọcha gas. Site na ịkọwapụta mmecha kwesịrị ekwesị - nke a na-eji elektrọnik eme ihe maka ọrụ UHP, nke a na-egbuke egbuke ma ọ bụ nke a na-akpọ nkụ na nke a na-anaghị achọ ihe - ijikọta ya na ihe na-anaghị achọ ihe dị ka 316L VIM-VAR ígwè anaghị agba nchara, yana ịkwado ya na usoro nhicha siri ike, ịme achịcha, na nhicha, ndị injinia nwere ike iwulite sistemụ nnyefe gas nke na-emezu ebumnuche ịdị ọcha kachasị mkpa ma debe ha ebe ahụ ruo ndụ osisi ahụ.