1. Nkọwa Sistemụ Gas Oke:
Nchekwa na njikwa nrụgide nke gas ndị na-adịghị arụ ọrụ Ụdị gas ndị a: Gas ndị na-adịghị arụ ọrụ (nitrogen, argon, ikuku a kpụkọrọ akpụkọ, wdg)
Nha paịpụ: Site na 1/4 (paịpụ nlekota) ruo paịpụ isi nke inch iri na abụọ
Isi ihe dị na sistemụ a bụ: valvụ diaphragm/valvụ bellows/bọọlụ, njikọ dị ọcha (VCR, ụdị ịgbado ọkụ), njikọ ferrule, valvụ na-achịkwa nrụgide, ihe nlele nrụgide, wdg.
Ugbu a, usoro ọhụrụ a gụnyekwara sistemu gas pụrụ iche nke buru ibu, nke na-eji silinda gas ma ọ bụ tankị ụgbọala maka nchekwa na njem.
2. Nkọwa Sistemụ Nchacha:
Mwepụ nke ihe ndị na-adịghị ọcha site na gas buru ibu maka ọkpọkọ gas dị ọcha nke ukwuu
3. Nkọwa nke kabọd gas:
Inye njikwa nrụgide na nlekota mmiri maka isi iyi gas pụrụ iche (gas ndị na-egbu egbu, ndị na-ere ọkụ, ndị na-emegharị ahụ, na ndị na-emebi emebi), ma nwee ike ịgbanwe silinda gas.
Ebe: Dị n'ala Sub-fab ma ọ bụ ala ala maka nchekwa nke gas pụrụ iche Isi mmalite: NF3, SF6, WF6, wdg.
Nha paịpụ: Paịpụ gas dị n'ime, nke na-adịkarị 1/4 inch maka paịpụ usoro, 1/4-3/8 inch karịsịa maka paịpụ nitrogen dị ọcha nke ukwuu.
Ngwaahịa ndị bụ isi: Valvụ diaphragm dị ọcha nke ukwuu, valvụ nlele, ihe nlele nrụgide, ihe nlele nrụgide, njikọ dị ọcha nke ukwuu (VCR, ụdị ịgbado ọkụ). Kabọd gas ndị a nwere ikike ịgbanwe akpaka maka silinda iji hụ na ọkọnọ gas na-aga n'ihu na nnọchi silinda dị mma.
4. Nkọwa nkesa:
Ijikọ isi iyi gas na eriri nchịkọta gas
Nha ahịrị: N'ụlọ ọrụ mmepụta chip, nha nke ọkpọkọ gas buru ibu na-adịkarị site na 1/2 inch ruo 2 inch.
Ụdị njikọ: A na-ejikọkarị ọkpọkọ gas pụrụ iche site na ịgbado ọkụ, na-enweghị njikọ igwe ma ọ bụ akụkụ ndị ọzọ na-agagharị agagharị, ọkachasị n'ihi na njikọ ịgbado ọkụ nwere ntụkwasị obi siri ike na mkpuchi.
N'ụlọ ọrụ mmepụta chip, e nwere ọtụtụ narị kilomita nke tube ejikọrọ na gas transmission, nke dị ihe dị ka ụkwụ iri abụọ n'ogologo ma jikọta ọnụ. Ụfọdụ tube reds na tube reds na-abụkarịkwa ihe a na-ahụkarị.
5. Igbe valvụ dị iche iche (Igbe Valve Manifold, VMB) Nkọwa:
Ọ bụ ikesa gas pụrụ iche site na isi iyi gas ruo na njedebe akụrụngwa dị iche iche.
Nha paịpụ dị n'ime: paịpụ usoro nke 1/4 inch, na paịpụ nhicha nke 1/4 - 3/8 inch. Sistemụ a nwere ike iji njikwa kọmputa chọọ valvụ ndị a na-arụ ọrụ ma ọ bụ ọnọdụ dị ọnụ ala site na iji valvụ aka.
Ngwaahịa sistemụ: valvụ diaphragm dị ọcha/valvụ bellows, valvụ nlele, njikọ dị ọcha (VCR, ụdị obere ịgbado ọkụ), valvụ na-achịkwa nrụgide, ihe nlele nrụgide na ihe nlele nrụgide, wdg. Maka nkesa nke ụfọdụ gas ndị na-adịghị arụ ọrụ, a na-ejikarị Valve Manifold Panel - VMP (diski valvụ ọrụ dị iche iche) eme ihe, nke nwere elu diski gas mepere emepe ma anaghị achọ nhazi oghere mechiri emechi na nhicha nitrogen ọzọ.
6. Efere/igbe valvụ nke abụọ (Panel Njikọ Ngwaọrụ) Nkọwa:
Jikọọ gas nke ngwaọrụ semiconductor chọrọ site na isi iyi gas ruo na njedebe akụrụngwa ma nye iwu nrụgide kwekọrọ. Panel a bụ sistemụ njikwa gas nke dị nso na njedebe akụrụngwa karịa VMB (igbe valvụ ọrụ dị iche iche).
Nha pipeline gas: 1/4 - 3/8 inch
Nha pipeline mmiri mmiri: 1/2 - 1 inch
Nha nke ọkpọkọ mmiri: 1/2 - 1 inch
Ngwaahịa ndị bụ isi: valvụ diaphragm/bellows valvụ, valvụ otu ụzọ, valvụ na-achịkwa nrụgide, ihe nlele nrụgide, ihe nlele nrụgide, nkwonkwo dị ọcha (VCR, obere ịgbado ọkụ), njikọ ferrule, valvụ bọọlụ, hose, wdg.
Oge ozi: Nọvemba-22-2024